纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。
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作者: 陶震妹 2024年10月09日 04:21793.24MB
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77阎松爽g
呵护孩子们午休“躺睡”的幸福感🍇⚫
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1552胥翰锦362
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664石逸风jm
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宗婉婕ir:#257 教练心态:信任并支持他人,促进其成长⚎
186****8744 回复 159****3919:深新早点 | 今天,又可以搞钱了!🎩